Vorinformation – Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems für Halbleiterprozesse
TED · 401361-2026Prior information · call for competitionNo deadline given
Buyer
NameFerdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
CountryDE
Published2026-06-11
Deadline—
Value
Estimated€1,386,000 · 1,386,000 EUR
Awarded—
CPV codes
38000000 Laboratory, optical & precision equipmentDescription
Der Auftraggeber beabsichtigt die Durchführung eines Vergabeverfahrens zur Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems für die Halbleiterfertigung. Gegenstand ist die Lieferung einer Anlage zur Metallabscheidung auf Substraten bis 200 mm Durchmesser im Rahmen von mikro- und nanoelektronischen Prozessen. Die Beschaffung dient der Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im Bereich der Halbleiter- und Photoniktechnologie im Rahmen des Projekts APECS.
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