Laserlithographie
Buyer
NameDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
CountryDE
Published2026-07-03
Deadline2026-08-03
Value
Estimated—
Awarded—
Who already wins at this buyer
Firms with recorded awards from Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) in this tender’s CPV categories — the incumbents you are bidding against.
| Firm | Wins | Awarded | Last win |
|---|---|---|---|
| Hexagon Manufacturing Intelligence Germany GmbH | 1 | €1 | 2026-05-26 |
Full buyer profile: what Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) buys and who wins it →
CPV codes
38000000 Laboratory, optical & precision equipmentDescription
Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Similar tenders
Closest by meaning — across languages, via embeddings.
| Published | Title | Buyer | Match |
|---|---|---|---|
| 2026-06-12 | DLR Standort Zittau, GI Neubau Bürogeb. Versuchshalle DI, Dacharbeiten Fahrradunterstand (26-0060_B) | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V. DE | 88% |
| 2026-05-07 | DLR Standort Zittau, GI Neubau Bürogeb. Versuchshalle DI, Landschaftsbauarbeiten (26-0123_B) | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V. DE | 88% |
| 2026-05-28 | Verschränkungsbasiertes QKD-Equipment | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart DE | 88% |
| 2026-04-30 | DLR-Standort Ulm - RAPID_KI Gebäude 7 - Leistungen der Generalplanung, Leistungsphasen 3-9 gemäß HOAI | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. - Technische Infrastruktur | Baumanagement Südwest DE | 87% |
| 2026-05-07 | DLR Standort Zittau, GI Neubau Bürogeb. Versuchshalle DI, Gussasphalt (26-0005_B) | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V. DE | 87% |
| 2026-05-20 | Lieferung einer Paketbox-Kapsel (IMoGer) | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) DE | 87% |